拋光樹脂是由氫型強酸性陽離子交換樹脂及氫氧型強堿性陰離子交換樹脂混合而成，一般用于超純水系統(tǒng)的末端，經(jīng)過拋光樹脂精處理后的水質(zhì)能達到18兆歐以上，并對TOC、SIO2有一定的抑制。

目前我國電子工業(yè)部把電子級水質(zhì)技術(shù)分為五個行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm。

預(yù)處理必須能夠去除原水中的絕大多數(shù)雜質(zhì)以滿足反滲透進水要求，確保產(chǎn)水水質(zhì)達標(biāo)、產(chǎn)水量穩(wěn)定、系統(tǒng)回收率長期維持不變、延長反滲透膜使用壽命等。

壓力表：主要設(shè)在泵前、泵后、濃水、產(chǎn)水側(cè)，顯示反滲透裝置的運行壓力，根據(jù)壓力數(shù)值判斷膜及濾芯是否堵塞。

水在加熱過程中，由于蒸發(fā)濃縮，水中的金屬陽離子同陰離子結(jié)合在一起，形成水垢附著在受熱面上，水中這些金屬離子的總濃度稱為水的硬度。

超純水廣泛應(yīng)用于電子芯片、醫(yī)藥生物、精細(xì)化工等其他行業(yè)，理論電阻率最高為18.25 MΩ·cm。 在EDI裝置后，通常配備拋光混床作為最終的精處理裝置，設(shè)計流速一般為40-60m/h。

在集成電路生產(chǎn)中，超純水主要用于清洗硅片，另有少量用于藥液配制，其中包括硅片氧化的水汽源，部分設(shè)備的冷卻水，配制電鍍液等。

化工行業(yè)中的純水主要應(yīng)用于電池溶劑用水、化學(xué)分析、化工材料、產(chǎn)品清洗、物質(zhì)的分離、濃縮、提純等產(chǎn)線，純水電導(dǎo)率0.1uS/cm-15uS/cm即可滿足要求。

在純水設(shè)備中通過前置預(yù)處理裝置，對原水進行初步的過濾，達到反滲透主機的進水要求。